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丁玉成

文章来源:[SouVR.com]网络收集整理 作者:Frank/Tracy 发布时间:2010年06月03日 点击数: 字号:
[3] 国家自然科学基金项目“复杂三维零件全几何信息获取及其模型重构”   [4] 国家863计划(基础研究)项目“基于RRE和RP的集成式即求即供在线制造服务系统”   [5] 国家863/CIMS项目“JFMT/CIMS/CAQ详细设计”,担任CAQ分系统主任设计师;   [6] 国家863/CIMS项目“JFMT/CIMS/CAQ研制开发”,担任CAQ分系统项目主任;   [7] 国家教委留学回国人员基金项目“环保型加工过程与技术的研究”;   [8] 陕西省科技攻关项目“三维打印快速成形技术开发”;   [9] 西安市九五工业科技攻关项目“三维零件全几何实体模型测绘系统研究与开发”;   [10] 陕西省科学研究计划基金项目“基于神经网络与模糊逻辑的机械加工控制”;   [11] 国家九五重点科技攻关项目“激光快速成型技术研究与开发”;   [12] 国家九五重点科技攻关项目子项“国家级快速成型与制造技术服务中心建设”;   (2).自2000年主持完成和在研纵向科研项目(第一申请人)   [1] 国家973计划项目“高性能电子产品设计制造精微化数字化新原理和新方法”之课题“微压印成形的相变构型与保真转移”,总经费RMB246.5万,2003-2008   [2] 国家863计划重点课题(B类)“IC制造中压印光刻工艺与设备的研究开发”,总经费RMB200万,2002-2005   [3] 陕西省重点科技攻关计划项目“压印光刻技术设备研究与开发”,总经费RMB100万,2003-2005   [4] 西安重大创新工程项目“集成电路压印光刻技术研究开发”,总经费RMB100万,2004-2006   [5] 国家自然科学基金课题“微纳米尺度约束成形中的流变仿真与工艺控制”,RMB26万,1999-2002   [6] 国家863计划课题“基于RE/CAD/RP/RT的远程服务系统”,总经费RMB56万,2001-2003   [7] 教育部骨干教师基金项目“生物活性人工骨制造”,总经费RMB27万元,2000-2002   [8] 国家自然科学基金课题“集成电路制造压印刻蚀技术的工艺研究”,总经费RMB30万,2003-2006   [9] 教育部跨世纪优秀人才计划课题“Sub-100nm特征结构的场诱导成形方法”,总经费RMB30万,2003-2006   [10] 美国应用材料公司创新基金“深亚微米结构多层套印对准测量系统和套印工艺”,总经费RMB30万,2005-2007   [11] 国家863计划课题“柔性基宏电子制造中微结构的大面积逆压印技术”,总经费RMB97万,2007-2009   [12] 国家863计划重点课题“基于MEMS的PDD治疗电极和系统的研制”子课题“生物兼容的MEMS研制”,总经费267万,子课题经费85万,2007-2009   [13] 国家自然科学基金课题“柔性基宏电子制造中微结构大面积逆压印工艺基础研究”, 总经费RMB38万,2008-2010   [14] 国家973计划项目“集成电路制造装备基础问题研究”之课题“纳米结构的外场诱导流变成形规律与控制”, 总经费RMB360万, 2009.1-2013.12   (3). 代表性论文    至2008年在国内外学术期刊和会议上发表论文120余篇。其中代表性论文:    HongBo. Lan, Yucheng. Ding, Hongzhong Liu, et al. “A Review of the Wafer Stage for Nanoimprint Lithography”, J. of Microelectronic Engineering, 84/4(2007), pp.684–688    Zhinggang Li, Yucheng. Ding. “Sheath potential difference studies in low-pressure high-frequency capacitive RF plasma as a fundamental research for ion energy impinging on the material Surface”, Surface & Coatings Technology, 200/18-19(2006), pp.5655-5662    Hansong Li, Yucheng Ding, Hongzhong Liu, et al. “Distortion Reduction by Load Release for Imprint Lithography ”, J. of Microelectronic Engineering, 83/3(2006), pp.485-491    Hongzhong Liu, Yucheng. Ding, Bingheng Lu, et al. “Multi-step nanopositioning control for step imprint lithography tool”, Journal of Nanoscience, Vol.1/2, 2006, pp.123-130    Hongzhong Liu, Yucheng. Ding, Bingheng Lu, et al. “A Measurement System for Step Imprint Lithography”, Journal of Key Engineering Materials, Vol.295-296, 2005, pp.107-112    Hongzhong Liu, Bingheng Lu, Yucheng. Ding, et al. “A Motor-Piezo Actuator for Nano-Scale Positioning Based on Dual Servo Loop and Nonlinearity Compensation”, J. Micromechanics and Microengineering, Vol.13, 2003, pp.295-299    Hongbo Lan, Yucheng Ding, et al. “Development of a step micro-imprint lithography tool”, J. Micromechanics and Microengineering,Vol,17 (2007) 2039–2048    Quandai Wang, Yugang Duan, Bingheng Lu, YuchengDing, et al. “Imprint template fabrication based on glass wet etching using a soft etching mask”, J. Micromechanics and Microengineering, Vol.16, 2006, pp564-57    Jinyou Shao, Yucheng Ding, Yiping Tang, et al. “A novel overlay process
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