四十五篇。招收研究生的专业方向为深亚微米及纳米微细加工技术及新器件研究。
　　陈宝钦 研究员, 博士生导师
　　陈宝钦同志多年来从事微细加工技术的研究与开发在光学掩膜的制作、图形合成、电子束制版与暴光技术等方面做出突出成绩。并多次获得科技进步奖和个人单项奖负责和承担国家及科学院的重要项目。拟招收从事微电子学微细加工方面的研究生。
　　刘 明 研究员 , 博士生导师
　　刘明博士主要从事电子束微细加工技术的研究和开发工作，在光掩模制造、缩微图形合成、移项掩模、电子束曝光和电子束光刻技术等方面作出突出贡献，并多次获科技进步奖和个人单项奖，负责和承担国家和科学院的重要研究项目。拟招收从事微电子深亚微米及纳米微细加工技术方面的研究生。
　　吴德馨 中科院院士，研究员，博士生导师
　　主要从事半导体器件与集成电路的研究，专业范围为半导体器件物理、器件与集成电路、物理新结构与新工艺研究。先后研究成功MOS 4K位、16K位和64K位动态随机存储器、CMOS专用集成电路、VDMOS场效应功率以及砷化镓异质结高电子迁移率晶体管和锗硅双极型高频晶体管等。承担新型高速异质结器件与集成电路的研究。拟招从事半导体器件与集成电路方面的研究生。
　　刘训春 研究员，博士生导师
　　曾长期从事硅双极高速集成电路的研究。研制成功当时在国内领先的肖特基TTL和ECL等电路及等平面隔离等技术。近几年来，从事CaAs器件的研究。首次报导了在高温退火时砷蒸汽对难溶金属Au/WSiN栅的影响并研究成功高跨导、亚微米Au/WSiN 栅自对准GaAs器件。圆满完成了"七五"和“八五”攻关课题研究。其中深亚微米相移光刻技术在国内首获成功。提出了双应变富铟道膺配高电子迁移率晶体管新结构以及用金属侧壁制备纳米宽X射线掩模图形的新方法并获得成功。研制成功多功能磁增强反应离子刻蚀机及感应耦合等离子体刻蚀机。所招研究生拟定研究方向为新型半导体器件及纳米加工技术。
　　夏 洋 研究员 , 博士生导师
　　夏洋同志主要从事半导体集成技术研究，专业范围是半导体器件物理、微细加工及超大规模集成电路工艺技术。目前承担国家重点攻关项目“深亚微米集成电路关键技术、国家自然基金重点项目及VLSI中CU布线技术”研究，拟招收有关深亚微米集成技术方面的研究。
　　顾文琪 研究员, 博士生导师
　　长期在电子光学领域从事圆形束和可变束电子曝光系统的研究和开发工作，在电子束曝光领域有较高的造诣，目前承担下一代光刻技术中的电子束投影光刻系统的科研公关项目的研究工作。拟招收从事微电子深亚微米及纳米微细加工技术方面的研究生。