简单原理图

　　干涉仪是一种对光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的仪器。其基本原理就是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。 　　干涉仪工作原理 　　照明光束 经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从这两个表面反射的 两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在 CCD 相机感光面形成两个叠加的像。 由于两束光相互干涉，在 CCD 相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，所以根据白光干涉条纹明暗度就可以解析出被测样品的相对高度。 　　

以下来源于中国仪器超市（www.cimart.com.cn）的资料： 　　白光干涉仪的主要功能： 观察、分析、应用 　　特点： 　　1 、非接触式测量：避免物件受损。

2 、三维表面测量：表面高度测量范围为 1nm ---200μm。 　　3 、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。 　　4 、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达0.1nm。 　　5、高速数字信号处理器：实现测量仅需几秒钟。 　　6 、扫描仪：闭环控制系统。 　　7、工作台：气动装置、抗震、抗压。 　　8 、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。 　　应用领域： 　　1、半导体晶片

2、液晶产品（CS,LGP,BIU） 　　3、微机电系统 　　4、光纤产品 　　5、数据存储盘（HDD,DVD,CD） 　　6、材料研究 　　7、精密加工表面 　　8、生物医学工程